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Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥,其性能和純度均達到或超過(guò)所有行業(yè)標準。我們的常規隔膜閥 (CDV) 系列可為常規安裝系統提供高可靠性和價(jià)值,而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專(zhuān)為模塊化表面安裝系統而設計。我們所有閥門(mén)的設計均符合 SEMI 規范,具有良好的可靠性和性能,并與市場(chǎng)上所有競爭系統兼容??蛻?hù)須確保所選部件是符合其防護性能的適當部件,同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。
模塊化隔膜閥
1.125" W 密封, 3 端口
氣動(dòng) N.O., 集成接頭
PEEK , 鎳 400, 更高純
純度
材料
底座材料
傳動(dòng)類(lèi)型
端口數
密封類(lèi)型
底座尺寸
產(chǎn)地:美國
工作壓力:真空至 150 psig
工作溫度:-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)
底座尺寸:1.125 英寸
密封類(lèi)型:W 型密封
端口數:3 端口
主體材料:鎳 400
純度等級:更高純
閥座材料:Peek
執行機構特征:1/8" 快速斷開(kāi)連接
隔膜材料:elgiloy
流量系數:0.3 cv
潤濕表面處理:5 ra
清洗:超聲波清洗
執行類(lèi)型:氣動(dòng) n.o. 集成接頭
爆破壓力:4500 psig
執行壓力:65 至 125 psig
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案
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