Entegris過(guò)濾器的特點(diǎn)與優(yōu)勢

Entegris是一家成立于1966年的公司，總部位于美國馬薩諸塞州的比勒里卡，專(zhuān)注于為半導體、顯示器、生物醫療和其他高性能行業(yè)提供先進(jìn)的材料、設備、過(guò)濾器和測量技術(shù)。

在過(guò)濾器方面，Entegris提供多種類(lèi)型的過(guò)濾器產(chǎn)品，包括氣體過(guò)濾器和液體過(guò)濾器，具有卓越的過(guò)濾效率、高流量、化學(xué)相容性、生物安全保險和全球法規合規性等特點(diǎn)。其氣體過(guò)濾器產(chǎn)品如Wafergard系列，具有高純度氣體系統的理想選擇，適用于高溫和動(dòng)態(tài)壓力應用。此外，Entegris還提供Pharmsteri™ PTFE濾筒過(guò)濾器、Trinzik™ UPW超純水過(guò)濾器等液體過(guò)濾器，這些產(chǎn)品廣泛應用于制藥、食品飲料、半導體制造等領(lǐng)域。

Entegris過(guò)濾器的特點(diǎn)與優(yōu)勢

高精度過(guò)濾：Entegris 的氣體過(guò)濾器能夠提供 0.0015 微米甚至更高精度的顆粒過(guò)濾，可有效去除氣體中的微小顆粒雜質(zhì)，確保進(jìn)入工藝過(guò)程的氣體達到超高純度，滿(mǎn)足半導體等高科技行業(yè)對工藝氣體的嚴格要求。

多種材質(zhì)選擇：采用鎳、不銹鋼、合金 - 22、PTFE 等多種材質(zhì)制造過(guò)濾器，以適應不同的化學(xué)兼容性和工藝條件需求。例如，在處理腐蝕性氣體時(shí)，可選用耐腐蝕性強的鎳材質(zhì)過(guò)濾器；而對于一些對純度要求極高且化學(xué)性質(zhì)較為溫和的氣體，則可選擇 PTFE 材質(zhì)的過(guò)濾器。

高流量設計：部分型號的過(guò)濾器如 Wafergard 系列，在保證高精度過(guò)濾的同時(shí)，能夠實(shí)現較高的工藝氣體通量，提高生產(chǎn)效率，滿(mǎn)足大規模集成電路制造等對氣體流量要求較高的工藝需求。

緊湊設計與節省空間：表面貼裝式的氣體過(guò)濾器，如 Wafergard C-seal 和 W-seal 系列，具有較小的占地面積，可在氣體面板上節省空間，減少零部件庫存和種類(lèi)，有助于提高設備的集成度和空間利用率。

良好的兼容性：其過(guò)濾器與各種半導體工藝氣體，包括惰性氣體、氫化物氣體和反應性氣體等都具有出色的兼容性，確保在不同的工藝環(huán)境中都能穩定可靠地運行，不會(huì )因氣體與過(guò)濾器材質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應而影響過(guò)濾效果或產(chǎn)生雜質(zhì)。