美國布魯克斯Brooks Instruments熱質(zhì)量流量控制器GF80 / GF81特點(diǎn)應用
GF80系列采用金屬密封的熱質(zhì)量流量控制器和儀表提出了在價(jià)值驅動(dòng)的金屬密封應用的性能標準。
對于許多工業(yè)和半導體工藝，性能和成本效率是至關(guān)重要的。該GF80系列金屬密封質(zhì)量流量控制器和儀表提供兩種：使用相同的快速響應傳感器和專(zhuān)利的第四代MultiFlo?技術(shù)作為我們最暢銷(xiāo)的GF100系列工程，它是，在一個(gè)價(jià)值的價(jià)格點(diǎn)需要高性能運算的正確選擇。移動(dòng)到密封的MFC的金屬帶來(lái)MultiFloTM多氣體/多范圍能力的全部?jì)?yōu)點(diǎn)，因為有在氣體沒(méi)有限制，可以使用的，氣體的，由于通過(guò)彈性體透氧消除增強純度，并在還原因為金屬密封件的維修將持續下去。

特點(diǎn)
每年<±0.5％滿(mǎn)量程長(cháng)期零點(diǎn)穩定性
<1秒的穩定時(shí)間
滿(mǎn)量程流量可達300 SLPM
全金屬密封流動(dòng)路徑 - 16μ英寸鐳表面光潔度
耐腐蝕哈氏傳感器可以在較低溫度下為氣體容易發(fā)生熱分解操作
可編程MultiFloTM能力酮裝置，數千氣體的類(lèi)型和范圍的組合而不脫離氣體管線(xiàn)除去MFC或影響精度
通過(guò)積極的溫度補償很佳的的溫度系數規格
嵌入式自測程序和獨立的診斷/服務(wù)端口
超薄機身采用VCR接頭
DeviceNetTM，PROFIBUS®，RS-485和模擬接口
優(yōu)點(diǎn)
快速<1秒流量穩定時(shí)間浪費消除氣體和工藝可變性
沒(méi)有彈性體密封，可以有透氧，需要更換隨著(zhù)時(shí)間的推移
MultiFloTM簡(jiǎn)化和優(yōu)化改變工藝氣體 - 沒(méi)有更多的拆除和微生物燃料電池校準
新的氣體和/或范圍可以在60秒內設置在
測量精度不受溫度變化
方便地訪(fǎng)問(wèn)診斷端口最大正常運行時(shí)間
緊湊的尺寸簡(jiǎn)化融入緊機位;為改造選擇
多協(xié)議通信接口簡(jiǎn)化集成到現有系統
應用
高性?xún)r(jià)比改造/翻新中的半導體工藝工具遺留的MFC升級
減少六英寸/八英寸晶圓廠(chǎng)半導體庫存MFC
MOCVD的LED和功率器件制造
太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積（CVD）系統的
分析OEM設備
美國布魯克斯Brooks Instruments作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專(zhuān)門(mén)從事流量計產(chǎn)品的生產(chǎn)。Brooks Instrument公司出品的流量計和流量控制器為各種流量測量和控制提供了可靠的解決方案。憑借60多年的經(jīng)驗，Brooks公司不斷推出各種流量計以及壓力控制技術(shù)（壓力控制器、壓力表、壓力變送器等）。Brooks還提供一系列磁性液位計和其他液位測量產(chǎn)品。
上海連航機電科技有限公司是國內專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商。公司專(zhuān)注于為中國工業(yè)企業(yè)供應進(jìn)口備品備件，提供過(guò)程控制技術(shù)咨詢(xún)，工業(yè)自動(dòng)化集成設計與改造，成套設備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應用及產(chǎn)品供應服務(wù)。主要產(chǎn)品有BENZLERS減速機、 ABB電容電橋測試儀、BEFELD整流器、BROOKS流量變送器、MESA氧分析儀、HBM傳感器、HUBNER編碼器、PFAFF線(xiàn)性執行器、FINDER離心泵、E2V閘流管等，歡迎來(lái)電咨詢(xún)。
為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，保障全產(chǎn)業(yè)鏈一體化工業(yè)服務(wù)水平，連航分別在德國和美國設有公司和倉儲中心，自此建立了對歐美先進(jìn)工業(yè)品與工業(yè)技術(shù)大規模引進(jìn)的高速通道。憑借的全球采購能力和工廠(chǎng)直采加產(chǎn)品集散帶來(lái)的二度成本壓縮，連航擴大了在業(yè)內的先進(jìn)優(yōu)勢，終端服務(wù)效率與水平與日俱增。