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產(chǎn)品介紹
HEIMANN真空傳感器HVS系列包含采用硅微加工技術(shù)的新型創(chuàng )新傳感器芯片。硅批處理技術(shù)可實(shí)現小型化和低成本大批量生產(chǎn)。特殊要求可以從1E-5mbar到1E-2mbar的標準測量范圍擴展到1E-1mbar。Heimann真空傳感器HVS是微型皮拉尼（Pirani）型傳感器，基于薄微機械膜上的加熱電阻器結構，傳感器采用小巧耐用的TO型金屬外殼。
規格參數
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參數 |
HVS Vac03g |
HVS Vac03k |
HVS Vac04 |
單位 |
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外殼 |
TO8 |
TO39 |
TO39（單個(gè)） TO8（雙） |
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芯片尺寸 |
5.2x5.2 |
4.0x4.0 |
1.2x1.2 |
mm2 |
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傳感器電阻RP（典型值） |
8.5 |
8.5 |
1 |
kOhm |
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片上參考電阻RK（典型值） |
8.5 |
8.5 |
1 |
kOhm |
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電源電壓U0 (max.)
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3.5
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3.2
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4（1..1000 mbar） 2（p <1 mbar） |
volt |
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工作溫度 |
-20..120 |
°C |
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儲存溫度 |
-40..120 |
°C |
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滬公網(wǎng)安備31011302006898號
