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產(chǎn)品介紹
Sierra的SmartTrak 100熱質(zhì)量流量控制器是一款多氣體數字MFC，旨在提供您每次可依靠的平穩，穩定，準確和可重復的氣體質(zhì)量流量控制。不受上游氣體溫度和壓力波動(dòng)的影響，Sierra SmartTrak 100的氣體質(zhì)量流量控制是直接而明確的。SmartTrak已獲得CE認證，可在您指定的較大流量范圍（高達1000 slpm或更高）下使用，具有各種尺寸，工業(yè)防水外殼，工作壓力和溫度以及行業(yè)尺寸。
采用熱技術(shù)的直接質(zhì)量流量+/- 0.5％滿(mǎn)量程精度。
多氣體數字質(zhì)量流量控制器。
50 slpm的占地面積小，非常適合OEM。
主要標準的10點(diǎn)NIST校準。
技術(shù)參數
所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性
高精度：滿(mǎn)量程的+/- 0.5％
精度：滿(mǎn)量程的+/- 1％
重復性：滿(mǎn)量程的+/- 0.2％
流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范圍
壓力至500 psig（34.5 barg）
氣體/環(huán)境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）
響應時(shí)間：300ms時(shí)間常數：2秒（典型值），在終值的±2％之內（包括建立時(shí)間），根據要求提供更快或更慢的速度
24 VDC電源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不銹鋼結構
包括模擬或數字信號：RS-232，RS-485（多點(diǎn)），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通信： 基金會(huì )現場(chǎng)總線(xiàn) 和 Modbus RTU
規格參數
所有清潔氣體，包括有毒和腐蝕性
高精度：滿(mǎn)量程的+/- 0.5％
精度：滿(mǎn)量程的+/- 1％
重復性：滿(mǎn)量程的+/- 0.2％
流量范圍從0-10 sccm到0-1000 slpm（nlpm）
更高和更低的流量范圍
壓力至500 psig（34.5 barg）
氣體/環(huán)境溫度32°F至122°F（0°C至50 C）
響應時(shí)間：300ms時(shí)間常數：2秒（典型值），在終值的±2％之內（包括建立時(shí)間），根據要求提供更快或更慢的速度
24 VDC電源
密封件：Viton，Neoprene，Karlez
316不銹鋼結構
包括模擬或數字信號：RS-232，RS-485（多點(diǎn)），0-20、4-20 mA; 0-5、1-5、0-10 VDC
數字通信： 基金會(huì )現場(chǎng)總線(xiàn) 和 Modbus RTU
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
