ENTEGRIS化學(xué)空氣過(guò)濾器VaporSorb CSP-32

Entegris 是微電子行業(yè)空氣分子污染 (AMC) 控制領(lǐng)域的佼佼者。 我們的 VaporSorb CSP-32 化學(xué)空氣過(guò)濾器為曝光工具光學(xué)元件和光刻膠提供保護。 CSP-32 過(guò)濾器包含碳和聚合化學(xué)介質(zhì)的獨特組合，可針對并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物質(zhì)（如 SO2）、分子堿（如 NH3、NMP 和 胺）和可冷凝有機化合物，定義為沸點(diǎn)大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。專(zhuān)門(mén)設計用于 Entegris 的定制過(guò)濾器外殼，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 過(guò)濾器以串聯(lián)方式使用，以提供保護，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶劑和顯影劑化學(xué)品泄漏。

不對稱(chēng)濾波器設計可防止 HDMSO 轉換為 TMS

去除酸、堿和可冷凝的有機物

折疊式過(guò)濾器設計采用剛性深框

低壓降使多個(gè)保護層的串聯(lián)過(guò)濾器布局成為可能

堆棧間采樣端口，便于監控