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COHERENT碳化硅材料SSC-702

產(chǎn)品介紹

根據需要定制幾乎任何尺寸或形狀的 RB-SiC 元件,包括高平面度、大浸潤深度和內部冷卻通道。RB-SiC 具有獨特的物理特性組合--耐高溫、低 CTE、化學(xué)惰性、高強度和強度重量比,適用于高壓電子、半導體工具等應用。

性能特點(diǎn)

可定制幾乎任何尺寸或形狀

獨特的物理特性組合

耐高溫

低 CTE、化學(xué)惰性

高強度和強度重量比

選型指南

THERMADITE:SiSiC + Diamond,適用于需要高熱穩定性和機械穩定性的應用

COGENTUM:下一代鋁 MMC,機器設計的適配之選

MESA:在使用新型材料時(shí)的智能平面度控制

OPTIMUM:用于鏡面應用的可直接拋光碳化硅

可選功能與配件

復雜結構

帶內部通道的整體結構

高爐噴嘴

復雜的密封幾何形狀

大型爐襯(直徑 1 米 x 長(cháng)度 5 米 x 側壁 15 毫米)

Bunner 噴嘴

節流插件

高爐噴嘴

技術(shù)參數

產(chǎn)地:美國

含量:(硅碳化硅)70 % 硅碳化硅

密度 ρ:2.95 g/cc

泊松比:0.18

楊氏模量 E:350 GPa

20 至 100 ℃平均熱膨脹系數 α:2.9 ppm/K

導熱系數 k:170 W/m-K

比熱:680 J/kg-K

彎曲強度:270 MPa

斷裂韌性:4.0 MPa-m1/2

比剛度:119 E/ρ

熱穩定性:59 k/α

產(chǎn)品應用

高壓電子、半導體工具等


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